新万博网页登录最精准Holmarc设计了一个通用的4”衬底紫外激光器作家与高精度组件,专门设计给用户最高的自由度来创建敏感层微观结构照片。
系统支持多达4096的灰度水平允许三维光学结构、表面结构以及面具项目使系统理想的R & D光刻工具。
| 激光 | : | 氮化镓激光二极管 |
| 波长 | : | 405海里 |
| 空间滤波单元 | : | 物镜的基础 |
| 光斑大小 | : | 8 - 10 um光斑大小与60 x的目标 |
| 强度 | : | 麦克斯3兆瓦现货软件控制 |
| 光功率反馈单元 | : | 是的 |
| 集中控制 | : | 软件控制 |
| 光级控制 | : | 4096年的水平 |
| X Y扫描阶段旅行 | : | 100毫米 |
| 决议 | : | 1微米 |
| Z轴旅行 | : | 20毫米 |
| 决议 | : | 1微米 |
| 相机 | : | 5 MP 1/2.5”CMOS相机 |
| 活跃的像素 | : | 2592 h x 1944 v |
| 像素大小 | : | 2.2 x 2.2嗯嗯 |
| 的视野(毫米) | : | 2.5 x 1.9毫米 |
| 软件 | : | 图像分析软件图像Pro版本。2.25 |
| 图像处理 | : | 背景补偿、对比度增强和图像过滤等。 |
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