万博平台网页版登录/manbetx手机版app下载 /紫外激光光刻系统2
紫外激光书写系统

对光刻

模型:HO-LWS-PUV-T


激光 : 405纳米激光光纤耦合
聚焦模式 : 基于显微镜物镜的
光斑直径 : < 10嗯(取决于目标放大)
强度 : 3兆瓦样品位置
聚焦 : 机动化的、软件控制

光学格式 : 1/2 "互补金属氧化物半导体
主动成像大小 : 6.55毫米x 4.92毫米
活跃的像素 : 2048 x 1536(3议员)
像素大小 : 3.2 x 3.2嗯嗯
滤色器阵列 : RGB拜耳模式
快门类型 : 电子滚动快门(人)
帧率 : 完整的决议——10 fps, VGA - 26.7帧/秒
像素的动态范围 : 61分贝
工作温度 : -30ºC + 70ºC
灵敏度 : > 1.0 v / lux-sec(550海里)
接口 : USB 2.0
光谱范围 : 380 nm - 650 nm
机动XY-Theta样品阶段
XY旅行 : 100 mm x 100 mm
XY决议 : 1嗯
单向可重复性 : 3嗯
定位精度 : 5嗯
θ阶段解决 : 0.1度
可重复性 : 0.1度
定位精度 : 0.1度
真空样品卡盘
鼻甲 : ,机动化的、软件控制
软件 : 锋速3数控软件

显微镜下的目标
1。∞计划消色差60 x客观的
N一 : 0.75
工作距离 : 1.22毫米
2。∞计划消色差100 x客观的
N一 : 0.85
工作距离 : 0.4毫米


|万博平台网页版登录|支持|manbetx官网在线登录 |联系我们

|

©2023 新万博网页登录最精准Holmarc Opto-最新万博体育app手机版Mechatronics有限公司保留所有权利。

跟着我们
Baidu
map