菲索(Fizeau)的大多数变幅干涉仪都可以使用非接触配置测量平面和球面。它的参考光路和测量光路是相同的，使它成为一个紧凑的，抗振动的系统。菲索干涉仪在某种程度上类似于法布里-珀罗干涉仪，因为它们都由两个反射面组成。然而，在菲索干涉仪中，第二面通常是全反射的。一个角度分束器捕获参考和测量光束。
新万博网页登录最精准霍尔马克菲索干涉仪具有开放式和垂直式配置。它适用于平面和球面的常规测量。采用DPSS激光器作为光源。垂直方向的光学布局使测试元件的放置更加方便。条纹由CCD相机捕获，并由计算机进行分析。该设备既可用于光学产品的生产质量控制，也可用于实验室的常规检测。
菲索干涉仪是最简单和最通用的干涉仪之一，是流行的平面和球面的常规测量。它用于测量光学元件，如平面、棱镜、透镜或精密金属部件，如轴承、密封面或抛光陶瓷。可以使用静态条纹分析软件进行测量。干涉仪基本上具有λ/20参考平面的高光学质量。来自测试表面的反射干扰来自参考平面的反射，产生条纹。条纹的形状和质量取决于测试平面的表面质量。采用高分辨率CCD相机对条纹进行数字化处理。通过对条纹的分析，可以得到P-V平面度、RMS平面度、三维曲面图等。
仪器采用垂直设计，便于固定试样。尖端/倾斜测试底座允许测试样品与参考表面对齐。高质量的像差校正光学设计提高了性能。反射平面和参考球面是可选的。定制解决方案也可以根据要求。
| 规范 | ||
| 样本大小 | ： | ≤100mm |
| 参考平面 | ： | λ/ 20pv直径100mm，厚度25mm |
| 精度 | ： | ≤λ / 20pv |
| 激光源 | ： | DPSS 5.0 mW 532 nm |
| 对齐 | ： | 通过倾斜/倾斜样品底座 |
| 相机 | ： | CCD: 1280 × 1024 |
| 分析 | ： | 使用条纹分析软件 |
| 重量 | ： | 约25公斤 |
| 电力供应 | ： | 220伏,50赫兹 |
图Fizeo干涉仪原理图
组件包括
DPSS激光源532nm (5mw)，
空间滤波器组件
分束器
带卡口的准直镜头
带底座的基准平面
测试平板安装
带CCD等变焦镜头。
