压电探头站将用于测量振动能量收集装置结构的压电信号。压电探针站包括(i)压电探针站主体框架，(ii)卡盘，(iii)带微操作器的压电衰减器支架，(iv)三目显微镜，(v)带探针尖的微操作器，(vi)安装在主体框架上的样品支架和其他必要配件。
卡盘有一个x - y - z平移阶段，xyz行程为50毫米x 50毫米x 10毫米。卡盘是完全电气和热隔离的基础单元。卡盘的漏电流为100pa或更小。两种类型的卡盘，一种真空卡盘和一种热卡盘可与本产品。
a.真空吸盘(1号)
真空吸盘是镀金涂层直径100毫米。真空吸盘通过真空泵将样品牢牢地固定在吸盘上。
b.热夹头(1号)
温度范围:室温~ 300℃，分辨率≤±1℃。
直径:100mm
热卡盘表面镀金。带有数字显示的数字温度控制器单元提供所有必要的电缆和附件。
热卡盘可将温度保持在设定值~ 6小时，温度稳定性≤±1℃。
微机械臂的XYZ行程为10 × 10 × 10 mm，分辨率为10 um。此外，微机械臂应提供螺纹拧紧机械固定在压板上。采用绝缘材料(Peek)制成的刚性绝缘棒，通过M6螺纹孔与衰减器集成。
该系统提供了两种类型的这种刚性绝缘棒(由Peek制成)。
a)在类型1中，刚性绝缘棒(Peek)一端有一螺纹，适合与衰减器M6槽(10mm深)集成。绝缘杆的另一端有一个槽，用于使用金属螺钉固定弹簧负载的镀金弹簧跳高跷尖端，并使用合适的电线连接到SMU。该系统可提供直径为1毫米(10个孔)、1.5毫米(10个孔)和2毫米(10个孔)的圆扁圆头。该系统配有10根Peek制成的绝缘棒。
b)第2类;绝缘棒(Peek)采用弹簧加载，弹簧加载的刚性绝缘棒(Peek)一端有螺纹，螺纹适合与衰减器的M6槽(10mm深)集成。而绝缘棒的另一端是圆的、平坦的、抛光的表面，直径分别为1mm(10个孔)、1.5 mm(10个孔)和2mm(10个孔)。
提供旋转和平移运动的三叉显微镜，用于观察工作区域并方便地将探针尖端放置在样品表面上。提供了一种基于窗口的显示系统和相应的软件来查看和保存样本图像。显微镜有以下规格:
| 光学系统 | ： | 无限远校正(200mm管镜头) |
| 观察法 | ： | 明视野 |
| 照明 | ： | 反射(同轴和角度) |
| 照明系统 | ： | 高亮度白光led |
| 鼻甲 | ： | 旋转，四倍与正精确点击停止 |
| 查看头 | ： | Siedentopf三叉头，30度倾角，48 - 75mm IP调节 |
| 目镜 | ： | 宽视场目镜，10倍，FN = 20mm，屈光度可调。 |
| 聚焦 | ： | 手册 |
目标
| 目标 | ： | Plano apo 5X |
| NA | ： | 0.18 |
| WD | ： | 40mm (FOV目镜= 4mm, FOV CCD = 1.31 x 0.984 mm) |
| 放大 | ： | 50X @目镜和5X @相机 |
相机规格
| 传感器尺寸 | ： | 1/2.5”CMOS彩色 |
| 有效成像仪尺寸 | ： | 6.55 mm(高)× 4.92 mm(V) |
| 最大分辨率 | ： | 2048 x 1536 (3mp) |
| 帧/秒 | ： | 10 FPS @全分辨率 |
| 像素大小 | ： | 3.2 x 3.2 um |
| 扫描类型 | ： | 逐行扫描 |
| 快门类型 | ： | 电子卷帘门 |
| 曝光时间 | ： | 0.047毫秒- 3000毫秒 |
| 数据格式 | ： | 8位RAW, 24位BMP |
| 灵敏度 | ： | > 1.0 V / Lux - sec (550 nm) |
| 光谱范围 | ： | 380 - 650 nm |
| 信噪比 | ： | 43分贝 |
| 宽动态范围 | ： | 61分贝 |
| 定义 | ： | > 850行 |
| 曝光模式 | ： | 自动/手动/区域 |
| 白平衡 | ： | 手动/一次性/区域/自动 |
| 图像格式 | ： | Raw / BMP / JPG / PNG |
微操纵器用于精细运动和探针尖端精确地放置在样品上进行电测量。为了便于在样品上移动针尖，两种微操作机分别为左手操作和右手操作。微操作机的规格如下:
1)独立XYZ行程:10 × 10 × 10毫米
2)分辨率- 10 μm;漏电流- 100pa
3)探针头支架借助螺钉锁紧牢固地固定在微机械臂上。所述探针头支架具有用于将探针头牢固地固定在其上的合适机构。探针头支架与压电探针站的微操纵器、基板和基单元完全电隔离。探头尖端支架能够执行低直流和交流(频率高达1mhz或更高)电流测量。
4)镀金钨头(数量- 10个)，头径50 μm，与报价的微操作器头座兼容，以盒/包形式提供。
5)微机械臂具有从探头尖端到测量仪器(如源测量单元(SMU)和C-V计)的电气连接的规定。万博手机版max网页版主站
样品夹用于直径为8mm至15mm，厚度为1mm至5mm的金属氧化物颗粒的电气测量。样品夹由两个平行电极组成，其中一个电极位置固定，另一个电极可移动，通过千分尺的调整与样品接触。电极的接触尖端是扁平的圆形，由铜制成，并有适当的接线连接到SMU。这些接触头与样品夹体隔离。接触头直径5毫米，7命令9毫米提供与系统。
