菲索干涉仪是最简单和最通用的干涉仪之一，是流行的平面和球面的常规测量。它用于测量光学元件，如平面、棱镜、透镜或精密金属部件，如轴承、密封面或抛光陶瓷。可以使用静态条纹分析软件进行测量。干涉仪基本上带有高光学质量(λ/20)参考平面。来自测试表面的反射会干扰来自参考平面的反射，从而产生条纹。条纹的形状和质量取决于测试平面的表面质量。采用高分辨率CCD相机对条纹进行数字化处理。
通过对条纹的分析，可以得到P-V平面度、RMS平面度、三维曲面图等。尖端/倾斜测试底座允许测试样品与参考表面对齐。高质量的像差校正光学设计提高了性能。新万博网页登录最精准Holmarc的自准直仪具有不锈钢机身和高精度光学器件，并带有LED照明。具有两轴倾斜运动的运动平台将仪器保持在水平平面上。还提供不同类型的附件以执行不同的应用。客户可从可选配件列表中选择所需配件。
| 最大样本量 | ： | ≤100mm |
| 参考光学 | ： | 接受任何标准的刺刀坐骑 |
| 精度 | ： | ≤λ/ 20pv |
| 激光源 | ： | DPSS 5.0 mW / 632.8 He-Ne激光器 |
| 光束扩展器 | ： | 60倍带针孔的显微镜物镜 |
| 准直透镜 | ： | 500mm焦距，100mm直径消色差镜头 |
| 对齐 | ： | 相机的基础 |
| 相机1 | ： | 300万像素CCD，分辨率可选 |
| 照相机2 | ： | 500万像素CCD，分辨率可选 |
| 分析 | ： | 使用条纹分析软件(开放条纹和快速条纹) |
| 重量 | ： | 约25公斤 |
| 电力供应 | ： | 220v, 50hz |
| 翻译阶段 | ： | 手动线性平移台与光学编码器 |
| 旅行与决心 | ： | 1200毫米行程长度和2微米分辨率 |
| 编码器输出信号 | ： | 具有pc机接口和软件 |
光学设置
利用空间滤光片和正消色差透镜对氦氖激光器进行扩展和准直。准直透镜后，基准平面固定。光线从参考平面反射回来。在光束扩展器附近放置一个立方体分束器，它将反射光反射到变焦镜头和CCD上。反射的一部分落在用于对齐模式的相机1上。来自测试样品的反射光也会沿着相同的路径进行干涉。
