电子散斑干涉法(ESPI)是一种研究表面变形的非破坏性光学方法。它依赖于来自测试对象的漫反射光和参考光束之间的干涉。
这是最灵敏的干涉测量技术之一,因此我们可以测量亚微米级的平面内或平面外位移。用CCD相机记录变形前后的图像,并用图像分析软件进行分析。变形引起条纹图案的变化。这些变化可以在提供的软件的帮助下进行分析,以找到变形。
由于该干涉仪对振动噪声高度敏感,Holmarc的ESPI配备了一个隔振光学面包板。新万博网页登录最精准采用输出功率为5mW的线偏振632.8nm He-Ne激光器作为光源。分束器把激光束分成两束。透射光束通过空间滤波组件均匀地照射测试对象,而反射光束作为参考光束落在CCD上。通过变焦镜头和CCD捕捉被照射测试物体的图像。
我们的ESPI系统允许用户在同一系统中执行电子散斑剪切干涉测量,而不会干扰光学设置和对准。新万博网页登录最精准Holmarc的相机应用软件有助于捕捉和分析图像。
图。原理图