薄膜光谱反射计是工业和科研中用于薄膜厚度分析的基本仪器。新万博网页登录最精准Holmarc的TFSR型号:HO-HAI-TFR-01SP能够以高速和可重复性分析薄膜的厚度,复折射率和表面粗糙度。TFSR理论适用于菲涅耳反射率和透射率方程的复矩阵形式。绝对反射光谱是Reflectometer背后的原理;它是反射光束(通常是单色)的强度与入射光束的强度之比。通常入射到样品表面的光束依次从受到干扰的薄膜表面的上下反射,并通过光纤通过计算机引导到附着CCD的光谱仪。在显示器上得到干涉振荡与薄膜厚度成正比的频谱图。
新万博网页登录最精准Holmarc的反射计可用于分析各种堆叠的单一,独立和粗糙层厚度,如双电,晶体,非晶,金属和吸收样品。它还可以直接测量绝对透射率和吸收率(定制)。粗糙度处理是通过EMA建模完成的。它还可以检测被研究样品的光学电导率、摩尔折射率和布鲁斯特角(定制)。
薄膜厚度范围 | : | 20 nm - 35 μm |
反射波长范围 | : | 400nm - 850nm |
透光/吸光范围 | : | 0 - 100%(定制) |
光源 | : | 卤钨石英灯,50W |
探测器 | : | CCD线性阵列,3648像素 |
谱仪 | : | Spectra CDS 215 |
精度通常用于SiO2NSF - 66 | : | ±1 nm |
同一样品的准确度 | : | ±2 nm |
光功率 | : | 50 W |
光斑大小 | : | 2毫米 |
光纤 | : | 带SMA光纤耦合器的多模双分叉光纤 |
参考样品 | : | 抛光NSF - 66 /浮法玻璃(显微镜载玻片1毫米) |
标准样品 | : | 浮法玻璃上的ITO薄膜,SiO2NSF - 66衬底上的薄膜 |
测量模式 | : | 曲线拟合/回归算法,FFT, FFT +曲线拟合 |
色散公式 | : | 柯西,塞尔迈耶和实证模型 |
EMA模型 | : | 线性EMA, Bruggemann, Maxwell Garnett, Lorentz - Lorenz模型 |
素材库 | : | 可扩展的材料用户库 |
电脑接口 | : | USB |
单层膜和多层膜的分析(多层膜的间接法)
用于法向入射角反射率测量的光纤探头
CCD线阵图像传感器,用于同时测量每个波长的反射率
用户可扩展的资料库
数据可以保存为Excel或文本文件
先进的数学拟合算法
基于FFT的厚度测量
厚度和光学常数的提取
参数化模型