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薄膜光谱学

反射计
模型:HO-HAI-TFR-01SP


薄膜光谱反射计是工业和科研中用于薄膜厚度分析的基本仪器。新万博网页登录最精准Holmarc的TFSR型号:HO-HAI-TFR-01SP能够以高速和可重复性分析薄膜的厚度,复折射率和表面粗糙度。TFSR理论适用于菲涅耳反射率和透射率方程的复矩阵形式。绝对反射光谱是Reflectometer背后的原理;它是反射光束(通常是单色)的强度与入射光束的强度之比。通常入射到样品表面的光束依次从受到干扰的薄膜表面的上下反射,并通过光纤通过计算机引导到附着CCD的光谱仪。在显示器上得到干涉振荡与薄膜厚度成正比的频谱图。

新万博网页登录最精准Holmarc的反射计可用于分析各种堆叠的单一,独立和粗糙层厚度,如双电,晶体,非晶,金属和吸收样品。它还可以直接测量绝对透射率和吸收率(定制)。粗糙度处理是通过EMA建模完成的。它还可以检测被研究样品的光学电导率、摩尔折射率和布鲁斯特角(定制)。




薄膜厚度范围 20 nm - 35 μm
反射波长范围 400nm - 850nm
透光/吸光范围 0 - 100%(定制)
光源 卤钨石英灯,50W
探测器 CCD线性阵列,3648像素
谱仪 Spectra CDS 215
精度通常用于SiO2NSF - 66 ±1 nm
同一样品的准确度 ±2 nm
光功率 50 W
光斑大小 2毫米
光纤 带SMA光纤耦合器的多模双分叉光纤
参考样品 抛光NSF - 66 /浮法玻璃(显微镜载玻片1毫米)
标准样品 浮法玻璃上的ITO薄膜,SiO2NSF - 66衬底上的薄膜
测量模式 曲线拟合/回归算法,FFT, FFT +曲线拟合
色散公式 柯西,塞尔迈耶和实证模型
EMA模型 线性EMA, Bruggemann, Maxwell Garnett, Lorentz - Lorenz模型
素材库 可扩展的材料用户库
电脑接口 USB


特性

单层膜和多层膜的分析(多层膜的间接法)

用于法向入射角反射率测量的光纤探头

CCD线阵图像传感器,用于同时测量每个波长的反射率

用户可扩展的资料库

数据可以保存为Excel或文本文件

先进的数学拟合算法

基于FFT的厚度测量

厚度和光学常数的提取

参数化模型




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